21. Александров Сергей Евгеньевич (декан 2002-2009)

21alex.jpg - 44.72 Kb

АЛЕКСАНДРОВ СЕРГЕЙ ЕВГЕНЬЕВИЧ

Доктор химических наук, профессор

 Род. 3.V.1955 г. в Ленинграде.

Окончил с отличием физико-металлургический факультет (факультет технологии и исследования материалов) ЛПИ по специальности "Технология материалов электронной техники" (1978). После окончания аспирантуры по кафедре "Технология материалов электронной техники" (1981) работает на этой же кафедре: ассистент (1981-1985), ст. преподаватель (1985-1986), доцент (1986-1995), заместитель декана факультета по научной работе (1986-1992), профессор кафедры (с 1995 г.). Защитил диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук (1981), доктора химических наук (1999).

Александров С.Е. – специалист в области теории, моделирования и разработки химических технологий материалов и изделий электронной техники, автор книги, более 150 научных работ, из них 4 заказных обзора, опубликованных в международных журналах, и 9 авторских свидетельств и патентов.

Основные научные результаты Александрова С.Е.: разработаны физико-химические основы низкотемпературных процессов химического осаждения пленок неорганических веществ и наночастиц из газовой фазы; экспериментально установлены реакционные схемы термоактивируемых процессов ХОГФ нитридов и оксинитридов p-элементов III и IV групп Периодической системы  в галогенидно-гидридных системах; разработаны общие принципы плазмохимических технологических процессов осаждения, отличающихся надежным контролем условий формирования образующегося слоя и минимизацией процессов дефектообразования в приповерхностной области полупроводника.

На основании теоретических и экспериментальных исследований им разработаны уникальные низкотемпературные технологии осаждения диэлектрических пленок, успешно использованные в производстве приборов на основе GaAs; целый ряд высокоэффективных технологических процессов осаждения, модификации и травления, основанных на использовании низкотемпературной плазмы, создаваемой при атмосферном давлении. 

Разработал курсы лекций "Физико-химические основы процессов очистки веществ", "Физико-химические основы технологии материалов и изделий электронной техники", "Моделирование и оптимизация химико-технологических процессов", «Технологии создания поверхностных наноструктур». Подготовил 6 кандидатов наук.

Александров С.Е. - член редколлегий журналов «Chemical Vapor Deposition» (Wiley-VCH) и «Металлообработка», член оргкомитета международной конференции EUROCVD, член президиума УМО по образованию в области металлургии, председатель специализированного докторского совета Д 212.229.03.

Сотрудничает со многими зарубежными учеными, университетами и исследовательскими центрами. Многократно выезжал в качестве приглашенного ученого или профессора в различные европейские университеты для выполнения научных исследований и консультирования аспирантов, работающих над докторскими диссертациями, а также на международные симпозиумы для чтения лекций и докладов.

Сферы научной и практической деятельности:

Исследование физико-химических основ процессов химического осаждения из газовой фазы пленок различных материалов;

Разработка фундаментальных основ контролируемых низкотемпературных плазмохимических процессов осаждения тонких пленок;

Разработка методов "in situ" диагностики процессов химического осаждения из газовой фазы.

Исследование и разработка низкотемпературных плазмохимических процессов, осуществляемых при атмосферном давлении.

 

Лит.: Remote PECVD: a route to controllable plasma deposition //J. de Physique IV. 1995. Coll. С 5. Vol. 5. P. 5-567.